Static Test
・結晶化
・スポット照射＆結晶化前後の反射率測定
・ライン/エリア（プログラマブル）上での反射率測定
Advance Test
・スポット/エリア上で結晶化/非結晶化のサイクリング試験（耐久試験）
主な特長
■高性能ナノパルスレーザーと高精度アライメントステージ搭載
パルス出力制御 （出力レンジ：0～50mW, パルス時間：5ns～1ms）
レーザービーム スポットサイズ (0．5～1μm）
XYZアライメントステージ （0．2μm分解能）
■GUI操作による多様なモード機能設定及び条件選択
パルス出力＆時間条件設定＆エリア設定機能
相変化イメージ確認＆保存機能
反射率（結晶化/非結晶化）変化によるエリア内反射率マッピング機能
■リアルタイム自動焦点機能によりSNR向上・ワークのチルト補正解像度向上